集成电路厂超纯水 TOC 超标治理
半导体超纯水 陕西省 · 西安市 · 2026-08-07 · 219 次浏览
西安某集成电路封测企业,超纯水 TOC 由 <5 ppb 升至 28 ppb,影响封装良率。
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项目背景
西安某集成电路封测企业,超纯水 TOC 由 <5 ppb 升至 28 ppb,影响封装良率。
客户痛点
TOC 来源难定位,紫外氧化器效率下降但无报警。
合作内容
更换紫外灯管并校验剂量,增加活性炭前置吸附,重建臭氧+UV 协同氧化逻辑。
📷 项目现场实拍
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改造前设备现场
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改造后设备现场
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中控系统与仪表
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客户访谈实录
💬 客户访谈原话
「黎民康把紫外系统当成化学反应来管,不是只看灯亮不亮。」
📊 改造前后数据对比
| 指标 | 改造前 | 改造后 |
|---|---|---|
| TOC | 28 ppb | <3 ppb |
| 良率影响 | -0.6% | 归零 |
✅ 项目效果
TOC 稳定在 3 ppb 以内,封测良率回升 0.6 个百分点。