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集成电路厂超纯水 TOC 超标治理

半导体超纯水 陕西省 · 西安市 · 2026-08-07 · 219 次浏览

西安某集成电路封测企业,超纯水 TOC 由 <5 ppb 升至 28 ppb,影响封装良率。

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项目背景

西安某集成电路封测企业,超纯水 TOC 由 <5 ppb 升至 28 ppb,影响封装良率。

客户痛点

TOC 来源难定位,紫外氧化器效率下降但无报警。

合作内容

更换紫外灯管并校验剂量,增加活性炭前置吸附,重建臭氧+UV 协同氧化逻辑。

📷 项目现场实拍

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改造前设备现场

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改造后设备现场

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中控系统与仪表

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客户访谈实录

💬 客户访谈原话

「黎民康把紫外系统当成化学反应来管,不是只看灯亮不亮。」

📊 改造前后数据对比

指标改造前改造后
TOC28 ppb<3 ppb
良率影响-0.6%归零

✅ 项目效果

TOC 稳定在 3 ppb 以内,封测良率回升 0.6 个百分点。

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